种类 | 单晶硅片 |
瑞晶光电单晶硅片技术参数
项目 |
参数要求a(mm) |
参数要求h(mm) |
|
单晶硅片 |
125.0±0.5 |
150.0±1.0 |
|
125.0±0.5 |
165.0±1.0 |
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156.0±0.5 |
200.0±1.0 |
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单晶硅片技术特征 |
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项目 |
参数要求 |
参数要求 |
参数要求 |
直径尺寸 |
125*125mm±0.5mm |
125*125mm±0.5mm |
156*156mm±0.5mm |
对角线尺寸 |
150mm |
165mm |
200mm |
晶向 |
<100>±3° |
<100>±3° |
<100>±3° |
电阻率 |
0.5—3.0ω.com |
0.5—3.0ω.com |
0.5—3.0ω.com |
少子寿命 |
>2.0us |
>2.0us |
>2.0us |
径向电阻变化 |
<25﹪ |
<25﹪ |
<25﹪ |
氧含量 |
≤1.0×1018at/cm3 |
≤1.0×1018at/cm3 |
≤1.0×1018at/cm3 |
碳含量 |
≤5×1016at/cm3 |
≤5×1016at/cm3 |
≤5×1016at/cm3 |
硅片弯曲度 |
≤35μm |
≤35μm |
≤35μm |
厚度 |
200±20μm |
200±20μm |
200±20μm |
崩边 |
≤2mm |
≤2mm |
≤2mm |
线痕 |
15μm |
15μm |
15μm |