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分子泵的维修  

分子泵的保养与维修  分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用，特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知，分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高，所以分子泵的保养显得十分重要，能够自己维修的话，可以节约大量的成本，降低维修成本。下面的是一些关于分子泵的保养维修的基本资料，希望对大家有所帮助。一、分子系的内部结构  1．高真空接口 2．前级真空接口 3．冷却水连接 4．排气接口 5．电气连接 6．橡胶底座10．转子 10 a．转子中心毂 14．安装螺帽 16．USIT接头  58．螺丝 59螺帽 60．球型轴承 61．半径方向防震垫圈63．轴向防震垫圈 64．电视单元65．0-圈72．0-圈 73．0- 圈80．锁紧著81．0-圈82．润滑油包83．0-圈84．油包安装环 .

气体通过叶列的传输几率也是相同的。当叶列以不同的速率大小和方向（正向或反向）运动时，根据相对运动的观点，叶列两边的气体相对叶列的运动状态可以由图7中标号1到5来描述，其中任何一种状态下，两边气体通过叶列的传输几率都是相同的。

但是如果让叶列向运动的方向倾斜时，情况就不一样了。首先，如图8，让叶列向右倾斜，但叶列静止不动，那么两侧气体通过叶列的传输几率仍然是相同的，然叶列一运动（向右），如图9，两边气体通过叶列的传输几率就不相同了，显然此时从上向下的传输几率要大于从下向上的传输几率，而且随着叶列运动速度的增大，上、下传输几率的差异也增大。当然与空弦比、倾斜角也有关。当叶列的运动速度趋向无穷大时（这是一种理想的情况），即如图10所示，上、下传输几率的差异可以达到Zui大值。所以涡轮 分子泵的抽速，除了受到制造技术上的限制，其本身就存在一个物理上的极限。