产品名称 | 涡轮分子泵维修帕纳光电分子泵涡轮分子泵维修 |
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公司名称 | 广州帕纳光电科技有限公司 |
价格 | 150.00/件 |
规格参数 | 品牌:Varian 型号:ZY1534 |
公司地址 | 广州市白云区白云大道北342号一楼(仅限办公用途) |
联系电话 | 13929503213 |
分子泵的维修
分子泵的保养与维修 分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用,特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知,分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高,所以分子泵的保养显得十分重要,能够自己维修的话,可以节约大量的成本,降低维修成本。下面的是一些关于分子泵的保养维修的基本资料,希望对大家有所帮助。一、分子系的内部结构 1.高真空接口 2.前级真空接口 3.冷却水连接 4.排气接口 5.电气连接 6.橡胶底座10.转子 10 a.转子中心毂 14.安装螺帽 16.USIT接头 58.螺丝 59螺帽 60.球型轴承 61.半径方向防震垫圈63.轴向防震垫圈 64.电视单元65.0-圈72.0-圈 73.0- 圈80.锁紧著81.0-圈82.润滑油包83.0-圈84.油包安装环 .
气体通过叶列的传输几率也是相同的。当叶列以不同的速率大小和方向(正向或反向)运动时,根据相对运动的观点,叶列两边的气体相对叶列的运动状态可以由图7中标号1到5来描述,其中任何一种状态下,两边气体通过叶列的传输几率都是相同的。
但是如果让叶列向运动的方向倾斜时,情况就不一样了。首先,如图8,让叶列向右倾斜,但叶列静止不动,那么两侧气体通过叶列的传输几率仍然是相同的,然叶列一运动(向右),如图9,两边气体通过叶列的传输几率就不相同了,显然此时从上向下的传输几率要大于从下向上的传输几率,而且随着叶列运动速度的增大,上、下传输几率的差异也增大。当然与空弦比、倾斜角也有关。当叶列的运动速度趋向无穷大时(这是一种理想的情况),即如图10所示,上、下传输几率的差异可以达到最大值。所以涡轮 分子泵的抽速,除了受到制造技术上的限制,其本身就存在一个物理上的极限。