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当涡轮分子泵关闭或运转极慢时，泵将不再有足够大的压缩比（泵内压力梯度）来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下，整个系统的压力均衡时，在前级管道侧， 油的分压力通常为10- 4 ～10- 6 Torr （ 或13.33mPa～133.3 Pa）Zui后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时，适当地给泵内充气是控制油分子返流，保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。

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真空分子泵应用领域： 分析仪器:各类质谱仪;所相分析仪;电子显微镜:检漏仪.

工业应用:显象管排气;电子管设备:光盘镀膜设备:检漏仪系统;半导体工艺;离子刻蚀.

科研应用:高能物理;表面分析;真空技术各领域.

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