真空分子泵帕纳光电真空分子泵检修维护

为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求，在前级泵不是干式泵的情况下，有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。 2、压缩比   涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示，泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr（13.33 Pa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1 10- 10 Torr（13.33 nPa）。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。   

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分子涡轮泵属于液质联用仪的核心部件之一，出现故障只能找仪器公司更换，维修的成本非常高昂，本文在实验室在专业维修公司的帮助下修复了分子涡轮泵，并已正常运行一年多时间，希望能为其它用户维修分子泵提供了一点参考与经验。