成仪设备科技 快速退火炉

 应用领域

ø 快速热退火 (rta); 离子注入后退火

ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长

ø 快速热氧化 (,rto); 热氮化 (rtn);

ø 硅化 (silicidation);

ø 扩散 (diffusion);

ø 离子注入后退火 (implant annealing);

ø 电极合金化 (contact alloying);

ø 晶向化和坚化 (crystallization and densification);

    主要特点

ø 极速升温100℃/s，极速降温100℃/s；

ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；

ø 直接测量样品表面温度，测温更精准；

ø 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用；

ø 真空度可达7.4×10-4pa；

*800℃以上保温时间超过1分钟会影响降温速度，保温10分钟以上，需选配法兰水冷套。