| 产品名称 | 成仪设备科技 快速退火炉 |
|---|---|
| 公司名称 | 河南成仪设备科技有限公司 |
| 价格 | .00/台 |
| 规格参数 | 品牌:成仪 型号:RTP1100 额定温度:1100 |
| 公司地址 | 河南自贸试验区郑州片区（经开）南三环东三环交界136号院 |
| 联系电话 | 15639272359 15639272359 |
应用领域
ø 快速热退火 (rta); 离子注入后退火
ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
ø 快速热氧化 (,rto); 热氮化 (rtn);
ø 硅化 (silicidation);
ø 扩散 (diffusion);
ø 离子注入后退火 (implant annealing);
ø 电极合金化 (contact alloying);
ø 晶向化和坚化 (crystallization and densification);
主要特点
ø 极速升温100℃/s，极速降温100℃/s；
ø 双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；
ø 直接测量样品表面温度，测温更精准；
ø 炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用；
ø 真空度可达7.4×10-4pa；
|
型号 |
极限 温度 |
升温速率 ℃/s |
降温速率 |
管径 |
处理晶片 |
加热区 |
恒温区±2℃ |
外形尺寸mm |
功率 |
重量 |
||
|
℃/s |
(内)mm |
尺寸 in |
长度mm |
长度mm |
宽 |
深 |
高 |
千克 |
||||
|
rtp1100 |
1100℃ |
100 |
100 |
103 |
4′ |
200 |
150 |
800 |
540 |
750 |
5.0kw |
45 |
*800℃以上保温时间超过1分钟会影响降温速度，保温10分钟以上，需选配法兰水冷套。