半导体晶圆扩膜机，LED扩晶机KJ-06A

一、机器用途

鑫诚牌扩晶机KJ-06A/KJ-08A型晶片扩张机（扩片机）被广泛应用与发光二极管、中小型功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。

二、机器特点：

1、采用双气缸上下控制；

2、恒温设计，膜片周边扩张均匀适度；

3、加热，拉伸，扩晶，固膜一次完成；

4、加热温度，扩张时间，回程速度均匀可调；

5、操作简便，单班产量大；

6、机器外型见实物。

三、技术参数：

1、电源电压：220vac（50hz)士10%

2、工作气压：4kg/cm2

3、温度范围：室温~150℃

4、上气缸行程：200mm

5、下气缸行程：100mm（可双向调节）

6、扩张面积：120/270cm2

7、外型尺寸：270x220x820mm(长x宽x高）

8、机器重量：20kg

四、操作步骤：

1、插上电源，气管快速接头接上高压气管；

2、打开电源开关，将温度设定于75℃（不同晶片膜温差异士5℃）；

3、将上气缸开关拨至“上升”位置，上压模回至上方，将下气缸开关拨至下降位置，下压模回至下方（反复几次下气缸动作，将上升速度调整至适合速度）

4、松开锁扣，掀起上工件板，先将扩晶环内环放于下压模上，再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，将上工件板盖上，锁紧锁扣。

5、将下气缸开关拨至“上升”位置，下压模徐徐上升，薄膜开始向四周扩散，晶粒间隔逐渐拉大，当晶片间隔扩散至原来的2~3倍时既停止上升，将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。

6、将上气缸开关拨至“下降”位置，上压模下降，将扩散后的翻晶膜套紧定位，上压模回至上方。

7、将下气缸开关拨至“下降”位置，下压模下降至下方，取出扩晶完毕的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序备胶固晶。

五、维护保养：

1、用干净布块擦拭附着灰尘，活动部位定期涂少许机油润滑；

2、放置翻晶膜的位置必须干净，附着的油脂及灰尘会污染晶片，造成不良品产生。

六、注意事项：

1、气缸工作时切勿将手接近或放入压合面；

2、下压模表面切勿用锐器敲击，磨擦，以免形成伤痕；

3、机器安装时，应正确可靠接地；

4、机箱内电源危险，箱门应锁紧；

5、更换加热管或其它电器元件时，需在电源插头拔下时方可进行；

6、切勿用带水或溶剂的抹布擦拭机器，以免产生漏电或燃烧危险。

七、售后服务：

产品自售出之日起享受半年免费维修，终身有偿维护。

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