等离子设备在PLC行业的应用

ü 对比一般的装备等离子密度高，也能减少因高温/电热发生的损伤，可使用rf (13.56 mhz) + mf (40 khz)两种power

ü 有良好的表面处理效果及均匀性(可处理90mm以上的wide strip)

ü 能减少产品表面损伤, no wire short可能/能处理sensitive样品

ü 可适用于低温工艺(ag, cu substrate能防止表面氧化)

ü 系统size : 1100(w)x1770(h)x1130(d)  

ü 腔体size : 430(w)x530(h)x630(d)

ü power supply : rf(13.56mhz, 600w) + mf(40khz,

ü    1kw) power supply

ü 使用气体: argon, nitrogen, oxygen

ü chamber capability : 12 magazines

ü      (magazine size : 56x144x195)

ü process cycle time : ~ 900sec/batch

ü electricity : ac 220v, 50/60hz, 3phase

ü 主要适用工艺: semiconductor & led for die attach, wire   bonding, encapsulation/mold

ü 应用领域十分广泛，涉及航空、电子、光电、汽车、塑胶、纺织、化工、日用品及家电等行业

本产品的加工定制是是，机器类型是清洗机，用途是工业用，原理是等离子，品牌是PLM，型号是NPT-V01，规格是820*750*820