四探针测试仪(便携式) rts-2∕rts-2a
便携式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 a.s.t.m 标准而设计的,专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ito导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了Zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
本仪器广泛应用于太阳能单晶(多晶)生产厂家为硅材料的分选测试,半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
区别:测量范围不一样。
rts-2测量范围:电阻率:0.01~1999.9ω.cm;方块电阻:0.1~19999ω/□;
rts-2a测量范围:电阻率:0.001~199.99ω.cm;方块电阻:0.01~1999.9ω/□;
rts-2恒流源:电流量程分为100μa、1ma两档,两档电流连续可调;
rts-2a恒流源:电流量程分为1ma、10ma两档,两档电流连续可调;
数字电压表:量程及表示形式:000.00~199.99mv;
分辨力:10μv;
输入阻抗:>1000mω;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性,超量程自动显示;
四探针探头基本指标:间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000mω;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数:(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差(按jjg508-87进行):1ω、10ω、100ω小于等于0.3%±1字
整机测量Zui大相对误差:(用硅标样片:0.01-180ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度:≤5%
外型尺寸:125mm(宽)*145mm(高)*245mm(深)
标准使用环境:温度:23±2℃;相对湿度:≤65%;无高频干扰;无强光直射。