手持式四探针测试仪

 四探针测试仪（手持式）   rts-3

产品说明：

手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 a.s.t.m 标准而设计的，专用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ito导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
    仪器采用了Zui新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技术参数：

测量范围：电阻率：0.01～1999.9ω.cm；
 方块电阻：0.1～19999ω/□； 

恒流源：电流量程分为100μa、1ma两档，两档电流连续可调；

数字电压表：量程及表示形式：000.00～199.99mv；    

 分辨力：10μv；
 输入阻抗：>1000mω；
 精度：±0.1% ；
 显示：以大屏幕lcd显示读数，直观清晰；极性，超量程自动显示；

四探针探头基本指标：间距：1±0.01mm；
 针间绝缘电阻：≥1000mω； 
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或高速钢ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数：(见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差（按jjg508-87进行）：1ω、10ω、100ω小于等于0.3%±1字

整机测量Zui大相对误差：(用硅标样片：0.01-180ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度：≤5%

外型尺寸：185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)

重量：350g

电源：锂电池，一次充电可连续使用100小时。

标准使用环境：温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射。