Item Specification
上料/Load port 手动
参数/Recipe 50 Sets ② 20 Steps per Recipe
尺寸/Substrate Size Up to 12”
转速/Rotation 10 ~ 3000 rpm
转速精度 ±1rpm
控制系統/Control System PLC / PC based
管路 三路(显影液,水,气)
显影液温度控制 Option
机械摆臂 YES
液位报警 YES
1 系统需求/Utilities
项目/Item |
描述/Description & 规格/Specification |
系统需求Utilities requirements |
排风/Exhaust:4 inch adapter,160 m³/h 真空/Vacuum:>-60 Kpa 压缩空气/Compressed Air:5 bar, 5kgf 氮气/Nitrogen:3 bar, 3kgf 水/DI water:1/4” pipe, 2.0Kgf/cm² 电压/Voltage:220 VAC/50 Hz-60Hz ,30A |
设计、制造、安装、维修、销售