白光干涉仪sis系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国samsung全球唯一指定供应商,lpl友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
机型 |
sis 2000 |
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工作台 |
尺寸 |
350mm×350mm |
倾斜度 |
±3 ° |
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测量行程 |
x:200mm y:200mm |
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z轴行程 |
100mm |
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运动方式 |
自动,马达驱动 |
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扫描速度 |
30μm/sec |
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垂直分辨率 |
0.1nm |
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ccd |
黑白ccd, 640×480 像素 |
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物镜安装架 |
手动 5个位移的可定位夹具 |
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镜头选配 |
镜头:5×、10×、20×、50× |
应用领域
1、tft产业
2、半导体
3、mems
4、高校科研
5、精密加工
本产品的加工定制是是,类型是白光干涉仪,品牌是东翱,型号是SIS2000