产品名称 | 白光干涉仪,自动白光干涉仪SIS 2000@ |
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公司名称 | 上海东翱工业配套设备有限公司 |
价格 | 面议 |
规格参数 | 加工定制:是 类型:白光干涉仪 品牌:东翱 |
公司地址 | 上海市金山区枫泾镇环东一路65弄13号1104室 |
联系电话 | 18816692690 |
白光干涉仪sis系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国samsung全球唯一指定供应商,lpl友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
机型 | sis 2000 | |
工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
倾斜度 | ±3 ° | |
测量行程 | x:200mm y:200mm | |
z轴行程 | 100mm | |
运动方式 | 自动,马达驱动 | |
扫描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
ccd | 黑白ccd, 640×480 像素 | |
物镜安装架 | 手动 5个位移的可定位夹具 | |
镜头选配 | 镜头:5×、10×、20×、50× |
应用领域
1、tft产业
2、半导体
3、mems
4、高校科研
5、精密加工
本产品的加工定制是是,类型是白光干涉仪,品牌是东翱,型号是SIS2000