白光干涉仪,自动白光干涉仪SIS 2000@

产品名称 白光干涉仪,自动白光干涉仪SIS 2000@
公司名称 上海东翱工业配套设备有限公司
价格 面议
规格参数 加工定制:是
类型:白光干涉仪
品牌:东翱
公司地址 上海市金山区枫泾镇环东一路65弄13号1104室
联系电话 18816692690

产品详情

白光干涉仪sis系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国samsung全球唯一指定供应商,lpl友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。

 

1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。

 

机型

sis 2000

工作台

尺寸

350mm×350mm

倾斜度

±3 °

测量行程

x:200mm   y:200mm

z轴行程

100mm

运动方式

自动,马达驱动

扫描速度

30μm/sec

垂直分辨率

0.1nm

ccd

黑白ccd, 640×480 像素

物镜安装架

手动 5个位移的可定位夹具

镜头选配

镜头:5×、10×、20×、50×

 

 

 

应用领域

1、tft产业
2、半导体
3、mems
4、高校科研
5、精密加工

 

本产品的加工定制是是,类型是白光干涉仪,品牌是东翱,型号是SIS2000