晶圆校准器 Wafer Aligner
晶圆校准器是一种应用于晶圆加工中的晶圆预对准装置,通过利用晶圆上的缺口(notch)将晶圆调整至预设位置,以确保晶圆的位置及方向,方便后续工艺的进行。产品广泛应用于半导体制造过程中的各个阶段,可集成至各类半导体设备中使用。
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