晶圆电阻测量仪

  双系统控制模式：电脑控制+触摸屏控制

数据处理：测试数据可显示测试点的 X, Y 坐标，电流电压范围，电阻，电阻率等。

图谱功能画面：制图软件可根据样品形状，测量点数量和位置，测量点的方阻值绘出2D, 3D MAP图. 

控制系统：机器是双系统控制模式，可电脑控制，也可以触摸屏控制

有伺服电机，高精度走位，探头压力传感器，设有多重压力感应保护机制。测量区域封闭无尘空间，减少污染。

  设备基本参数

1． 方阻测量范围：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq

2． 四探针探头测量金属类型：铝 / 钛 / 镍钒 / 金 / 铜 等金属

3． 四探针探头测量金属厚度：100A～10μm

4． 四探针系统电流量程：1μA , 10μA , 100μA , 1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七档

5． 四探针标准晶圆方阻重复性：1，≤±0.1%（同点静态测量）2，≤±0.2%    （动态多点测量）

6． 四探针标准晶圆测量精度：≤±1%（典型晶圆）

7． 量测区域：以探针头的中心到晶圆的边缘距离3mm

8． 测试图形：1，极地图形（在对位晶圆的notch) 2，矩形图形（无效边缘排除以外进行选择） 3，直线扫描（可以是直径，半径或沿直径的点到点，Zui小距离0.1mm) 4，用户自定义（使用模板） 

9． 测量图形表示：可以为轮廓图，3D图，water上显示的数据图数据表示

10． 探针自清洁功能：陶瓷片清洁

11． 所有设备测量的数据文件可以被导入到Excel，Word文档，工作站等，数据图形可以合并