湖北襄阳仪波达双工位旋转腐蚀机
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- 襄阳仪波达微电子设备有限公司 商铺
- 认证
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 仪波达
- 型号
- YBD
- 所在地
- 湖北省襄樊市高新区黄家三组60号
- 联系电话
- 86 0710 3493901
- 手机号
- 13871663860
- 项目主任
- 杨先生 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
一、概述:
全新的两工位腐蚀机经过多次的试验与研发修改,采用美国进口设备的技术方案再进一步做了更人性化,更自动化的改进,使作业员在操作时更加方便,省时省力,驱动阀门及管路部分全部采用四氟耐酸材质,寿命长,故障率低,电箱及阀门箱也己设计气压注入方式,使箱体内产生正气压,酸气不易进入,保护电器元件寿命,动作部分采用电机直接驱动主轴,旋转稳定,出水快速,甩干时自动吹氮气,腐蚀出来的硅片均匀,稳定。整机操作简单方便,就算新人也可很快熟悉操作机器,而且速度快质量好。
二、腐蚀机的特点
1、 设备用途:硅片腐蚀
2、 设备特点:手动自动自由切换,腐蚀时间可方便查看及设定,设备安全稳定,寿命长
3、主要技术指标:
1、整机尺寸:1000x760x1365
1、总功率:500w
2、两工位腐蚀,并且可腐蚀不同硅片,适合产品批量生产。
3、可适用于φ30—φ76.2及更大的硅片。
4、腐蚀头及阀门,管路部分全部采用四氟耐酸材料,寿命长,故障率低。
三、使用说明
1、设备使用前,先检查电源是否接好(220vac)二相三线制,接地线是否正常,设备上是否有杂物。
2、检查气路及水路部分是否正常,电箱内压力表是否有气压,并伴有漏气声音,以保证电箱及阀门箱内有正气压。
3、根据腐蚀硅片的大小选择相应的卡盘并组装到位不偏摆。
4、调节腐蚀头及喷水头的位置及角度,正常为酸及水喷在硅片外圆切线处。
5、调节好腐蚀时间和旋转速度即可正常工作。
6、面板操作说明:
序号 |
名称 |
名称说明 |
1 |
电源开关 |
右旋打开左工位控制电源 |
2 |
电源指示 |
打开电源后指示灯亮红灯 |
3 |
手动自动 |
手动或自动切换 |
4 |
自动指示 |
打开自动状态下此绿灯亮 |
5 |
紧急停止 |
设备操作时故障时紧急停止用 |
6 |
清洗 |
手动状态下按下此开关低速、出底水 |
7 |
酸腐 |
手动状态下按下此开关低速、出底水、出酸水 |
8 |
水洗 |
手动状态下按下此开关低速、出底水、上水 |
9 |
甩干 |
手动状态下按下此开关高速、吹氮气 |
10 |
自动启动 |
自动状态下点动此开关设备自行运行一下循环 |
专业为可控硅生产厂家提供设备
主营产品:可控硅芯片磨角机(专利产品)、扩散炉、扩散炉体、真空烧结炉、旋转腐蚀机、半导体光刻机、匀胶机、晶闸管测试台、温度控制器、清洗机等.
联系人:张林芳
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本产品的加工定制是是,品牌是仪波达,型号是YBD,别名是旋转腐蚀机,用途是半导体硅片边缘腐蚀,输入电压是380(V),外形尺寸是可根据情况调节(mm),电解液导电质是详谈