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湖北襄阳仪波达双工位旋转腐蚀机

信息编号:2874690 浏览:49次
供应商
襄阳仪波达微电子设备有限公司 商铺
认证
报价
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品牌
仪波达
型号
YBD
所在地
湖北省襄樊市高新区黄家三组60号
联系电话
86 0710 3493901
手机号
13871663860
项目主任
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产品详细介绍

一、概述:

全新的两工位腐蚀机经过多次的试验与研发修改,采用美国进口设备的技术方案再进一步做了更人性化,更自动化的改进,使作业员在操作时更加方便,省时省力,驱动阀门及管路部分全部采用四氟耐酸材质,寿命长,故障率低,电箱及阀门箱也己设计气压注入方式,使箱体内产生正气压,酸气不易进入,保护电器元件寿命,动作部分采用电机直接驱动主轴,旋转稳定,出水快速,甩干时自动吹氮气,腐蚀出来的硅片均匀,稳定。整机操作简单方便,就算新人也可很快熟悉操作机器,而且速度快质量好。

二、腐蚀机的特点

1 设备用途:硅片腐蚀

2  设备特点:手动自动自由切换,腐蚀时间可方便查看及设定,设备安全稳定,寿命长

3主要技术指标:

1、整机尺寸:1000x760x1365

1、总功率:500w

2、两工位腐蚀,并且可腐蚀不同硅片,适合产品批量生产。

3、可适用于φ30—φ76.2及更大的硅片。

4、腐蚀头及阀门,管路部分全部采用四氟耐酸材料,寿命长,故障率低。

三、使用说明 

1、设备使用前,先检查电源是否接好(220vac)二相三线制,接地线是否正常,设备上是否有杂物。

2、检查气路及水路部分是否正常,电箱内压力表是否有气压,并伴有漏气声音,以保证电箱及阀门箱内有正气压。

3、根据腐蚀硅片的大小选择相应的卡盘并组装到位不偏摆。

4、调节腐蚀头及喷水头的位置及角度,正常为酸及水喷在硅片外圆切线处。

5、调节好腐蚀时间和旋转速度即可正常工作。

6、面板操作说明:

 

序号

名称

名称说明

1

电源开关

右旋打开左工位控制电源

2

电源指示

打开电源后指示灯亮红灯

3

手动自动

手动或自动切换

4

自动指示

打开自动状态下此绿灯亮

5

紧急停止

设备操作时故障时紧急停止用

6

清洗

手动状态下按下此开关低速、出底水

7

酸腐

手动状态下按下此开关低速、出底水、出酸水

8

水洗

手动状态下按下此开关低速、出底水、上水

9

甩干

手动状态下按下此开关高速、吹氮气

10

自动启动

自动状态下点动此开关设备自行运行一下循环

专业为可控硅生产厂家提供设备
主营产品:可控硅芯片磨角机(专利产品)、扩散炉、扩散炉体、真空烧结炉、旋转腐蚀机、半导体光刻机、匀胶机、晶闸管测试台、温度控制器、清洗机等.
联系人:张林芳
电话:0710-3493901
手机:

传真:0710-3493902
qq: 2473765394 
欢迎咨询!

本产品的加工定制是是,品牌是仪波达,型号是YBD,别名是旋转腐蚀机,用途是半导体硅片边缘腐蚀,输入电压是380(V),外形尺寸是可根据情况调节(mm),电解液导电质是详谈

所属分类:中国机械设备网 / 蚀刻机
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