俄歇电子能谱 (aes, auger)

    俄歇电子能谱(aes、auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术. aes分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子。
    aes电子束可以扫描一块或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小块表面形貌上（半导体产业经常要求这样）。聚焦电子束斑到10nm或更小的直径使得aes成为小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能够在可调整的表面区域内栅蔽电子束从而控制分析区域的尺寸。 当用来与溅射离子源的结合时, aes能胜任大、小面积的深度剖面。 当与聚焦离子束(fib)一起使用时,它对于截面分析是很有用的。
应用范围：
 缺陷分析 
 颗粒分析 
 表面分析 
 小面积深度剖面 
 工艺控制 
 薄膜成分分析
aes优点：
 小面积分析（30纳米） 
 良好的表面灵敏度 
 良好的深度分辨率

aes激发原理示意图

应用案例：