TMC 隔振平台系统 STACIS III

STACIS® III是一种灵活的主动隔振系统。STACIS采用的惯性振动传感器、控制算法和压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。

STACISZui初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中敏感仪器的行业标准解决方案。

STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，适用于对振动敏感的仪器。