产品用途: 满足高速产品的定制需求,适用于激光加工, CCD成像,晶圆检测等。 产品特性: ●X、Y、Z工作台, Z轴布置于平台大理石横梁; ●龙门结构,横梁可随Y轴运动; ●XY微米级重复定位精度; ●大速度500mm/s ,大加速度1.0g ; ●单轴直线度可达+1.5μm ,运动平面度可达士2.0μm。