磁控溅射电源

一、公司简介：肇庆市翔兴电子设备制造有限公司（http://www.yiminshutong.cn）创建于2021年3月22日，经营地址位于风景秀丽的肇庆市端州区内，本公司是一家集研发、生产、销售为一体制造真空镀膜电源的技术创新型企业，功能定位专注于电子产品的自主开发和制造，目前现有产品包括有：直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源、(直流、脉冲)偏压电源、清洗电源、离子源电源、扩散泵电磁加热器等电子专用设备；公司将一如既往根据市场变化和客户需求不断更新和优化各系列镀膜电源产品，力求做到让客户买得放心，用得满意；诚信经营、对客户负责、注重品质管理、引领潮流是公司的经营宗旨，对一直以来信赖我公司产品的用户表示感谢；本公司电源产品已获得国家专利，（专利号：ZL 2019 2 1879059. 7）。

二、产品介绍：磁控溅射电源（直流、中频、偏压）

磁控溅射电源包括有：直流输出（高频脉动直流电）、交流输出（因输出工作频率为2*40KHz,而这个频率范围正好处于中频波段，故称为中频）、直流负压或脉冲负压输出（偏压）。

（1）直流磁控溅射电源

适用于单靶材溅射供电，接线方法：正极端子接容器外壳，负极端子接靶材引出电极；同时要求容器外壳接入大地。

技术参数【注：ZL-60KW为(主机+从机)2单元组合】

（2）中频磁控溅射电源

适用于孪生靶材溅射供电，接线方法：P1端子接靶材一个引出电极，P2端子接靶材另一个引出电极；同时要求容器外壳接入大地。

技术参数【注：ZP-60KW为(主机+从机)2单元组合】

（3）偏压磁控溅射电源

适用于单靶材溅射供电，接线方法：正极端子接容器外壳，负极端子接工件引出电极；必须把容器外壳接入大地。

技术参数【注：ZP-60KW为(主机+从机)2单元组合】

（4）扩散泵电磁加热器

本产品分单机组合和双机组合两种规格，线盘分为800mm和1000mm两种规格，线盘电感量空载时为170uH-180uH，带载时为70uH-80uH，修正电感量可调整线盘与扩散泵底盘之间的距离；峰值加热电流约为28A，维持加热电流约为12A，泵油加热到沸腾约需1小时左右，通过温表菜单可设置上限加热温度和下限加热温度。

技术参数：