硅片清洗机
更新时间:2014-02-27 11:49:40 信息编号:1744918 发布者IP:118.186.8.32 浏览:75次- 供应商
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- 北京通州区宋庄后夏工业区
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产品详细介绍
硅片清洗机
1
用于硅晶片清洗腐蚀;
2
清洗规格:2 inch ,4
cassette/Batch, 25
Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25
Pcs/cassette;
3
工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。
4 设备形式: 室内放置型。
5 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
6 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
7 机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
8 药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统
9 DI槽配有在线式水质检测装置;
北京华林嘉业科技有限公司
http://www.cgbtek.com
电话:010-52112445、
邮@cgbtek.com
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