PV-2000无接触硅片自动测试系统

产品介绍:

pv-2000系列无接触硅片厚度ttv电阻率综合测试系统为太阳能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（总厚度变化）ttv、弯曲度及无接触电阻率测量功能。并提供基于tcp/ip的数据传输接口及基于windows的控制软件，用以进行在线及离线数据管理功能。

产品特点：

■使用mti instruments独有的推/拉电容探针技术
■每套系统提供Zui多三个测量通道
■可进行Zui大、Zui小、平均厚度测量和ttv测量
■可进行翘曲度测量（需要3探头）
■用激光传感器进行线锯方向和深度监视（可选）
■集成数据采集和电气控制系统
■为工厂测量提供快速以太网通讯接口，速率为每秒5片
■可增加的直线厚度扫描数量
■与现有的硅片处理设备有数字i/o接口
■基于windows的控制软件提供离线和在线的数据监控
■提供标准及客户定制的探头
■提供基于windows的动态链接库用于与控制电脑集成
■无接触，用涡电流法测量硅片电阻率

技术参数：

■晶圆硅片测试尺寸：50mm- 300mm.

■厚度测试范围：1.7mm，可扩展到2.5mm.

■厚度测试精度：+/-0.25um

■厚度重复性精度：0.050um

■测量点直径：8mm

■ttv测试精度: +/-0.05um
■ttv重复性精度: 0.050um

■弯曲度测试范围：+/-500um [+/-850um]

■弯曲度测试精度：+/-2.0um

■弯曲度重复性精度：0.750um

■电阻率测量范围：0.1-50ohm-cm
■电阻率测量精度：2%

■电阻率测量重复精度：1%

■晶圆硅片类型：单晶或多晶硅

■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等

■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口

■连续5点测量

典型客户:

美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。

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