真空镀膜机PVD1010A
更新：2013-04-02 11:22 编号：1504607 IP：113.224.161.81 浏览：67次
- 供应商
- 沈阳威利德真空技术有限公司 商铺
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- 报价
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- 所在地
- 沈阳市于洪区平罗街道前辛台村
- 联系电话
- 86-02425359076
- 总经理助理
- 张宏 请说明来自顺企网，优惠更多
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产品详细介绍
主要技术参数：
1.
极限真空度：4.0x10-4Pa；
2.
工作真空度：6.67x10-3Pa；
3.
抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜8分钟；
4.
压升率：0.4Pa/小时；
5.
自转轴中心距：155mm；
6.
工位：10个（工件架Zui大自转半径为120mm）；
7.
电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置；
罐体：*太钢SUS304不锈钢带水冷套结构；一支中柱靶位，炉体两侧安装两支平面靶位；抽气口两侧两列六支弧源。*布气管路。*放气阀加装空气滤清器。
标准件：密封圈，气路部件，不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
磁控靶：一支中心圆柱磁控靶，靶芯旋转，直接冷却，钛靶材
全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按钮、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线
详情请登陆公司网站 www.vleadvac.com 或 电话咨询 024-25359076 QQ ：2270688589
