真空镀膜机PVD12512E
更新时间:2013-04-17 00:08:19 信息编号:1504579 发布者IP:113.224.161.81 浏览:70次产品详细介绍
主要技术参数:
1.
极限真空度:5.0x10-4Pa;
2.
工作真空度:6.67x10-3Pa;
3.
抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<9分钟;
4.
压升率:0.45Pa/小时;
5.
自转轴中心距:156mm;
6.
工位:18个(工件架Zui大自转半径为130mm);
7.
电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。
罐体:*太钢SUS304不锈钢带水冷套结构,镜面抛光;门两侧布置两个外挂式靶筒;上盖布置四对磁控靶孔位,两对一组,抽气口两侧布置两列四支弧源。*布气管路。*放气阀加装空气滤清器。
标准件:密封圈,气路部件,不锈钢水阀,不锈钢水路接头,不锈钢螺钉,压力表,热电偶,电机,减速机及木箱包装等。
磁控靶:8支圆柱磁控靶,定向溅射,直接冷却,钛靶材;两支一对,工件架内外侧各二对,炉体上盖板安装。
全自动电气控制系统:三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按钮、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线
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