高真空磁控溅射镀膜机 百诚
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- 陕西百诚真空设备工程有限公司 商铺
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- 品牌
- 百诚
- 型号
- 高真空磁控溅射镀膜机
- 材质
- 不锈钢
- 所在地
- 陕西省西安市莲湖区大庆路3号蔚蓝国际B座21205室
- 联系电话
- 13991358300
- 手机号
- 13909218736
- 经理
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产品详细介绍
品牌 | 百诚 | 型号 | 高真空磁控溅射镀膜机 |
材质 | 不锈钢 | 驱动方式 | 电动 |
原理 | 镀膜机 | 流量 | 0(m3/h) |
扬程 | 0(m) | 转速 | 0(rpm) |
轴功率 | 0(kW) | Zui大抽气量 | 0(m3/min) |
吸入口径 | 0(mm) | 排出口径 | 0(mm) |
功率 | 2kw |
特点及用途:该设备为高真空磁控溅射镀膜机。镀膜室、阀体及管道全部采用不锈钢材料;连接法兰采用cf及kf结构;基片旋转,旋转轴为磁流体传动方式。此设备可以在高真空条件下制备各种单层及多层金属膜、介质膜、合金膜等。
产品结构:由镀膜室、真空机组(主泵采用涡轮分子泵),真空测量及控制系统、工件安装盘升降旋转系统、气路系统、计算机(plc)辅助控制系统组成。
技术指标:极限压力:3x10-5pa 靶径:ø50
抽气速率:110l/s功率:2kw
启动时间:≤20min漏率:≤1x10-7pa.l/s
镀膜室尺寸:ø350x350
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