品牌	百诚	型号	高真空磁控溅射镀膜机
材质	不锈钢	驱动方式	电动
原理	镀膜机	流量	0（m3/h）
扬程	0（m）	转速	0（rpm）
轴功率	0（kW）	最大抽气量	0（m3/min）
吸入口径	0（mm）	排出口径	0（mm）
功率	2kw

特点及用途：该设备为高真空磁控溅射镀膜机。镀膜室、阀体及管道全部采用不锈钢材料;连接法兰采用cf及kf结构；基片旋转，旋转轴为磁流体传动方式。此设备可以在高真空条件下制备各种单层及多层金属膜、介质膜、合金膜等。

产品结构：由镀膜室、真空机组（主泵采用涡轮分子泵），真空测量及控制系统、工件安装盘升降旋转系统、气路系统、计算机（plc）辅助控制系统组成。

技术指标：极限压力：3x10^-5pa 靶径：ø50

抽气速率：110l/s功率：2kw

启动时间：≤20min漏率：≤1x10^-7pa.l/s

镀膜室尺寸：ø350x350