成都上海北京光刻机 南光
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- 四川南光泵业有限公司 商铺
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- 品牌
- 南光
- 型号
- G-26
- 所在地
- 成都市锦江区东光小区东怡路16号附9号
- 联系电话
- 13666287112
- 手机号
- 13708029604
- 总经理
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产品详细介绍
品牌 | 南光 | 型号 | G-26 |
1、适用于φ6φ5φ4基片,基片厚度0~5mm均可。
2、采用多点光源曝光头,Zui大输出光束≥φ160mm;光束不均匀性≤±7%,(φ150mm范围内)。
3、光源采用350w直流汞灯。
4、版、片对准精度±0.5μm。
5、采用片动、版不动的对准方式以及三点找平机构。
6、扫描观察范围:±15mm。
7、采用双目视场显微镜,放大倍数50x~375x。也可采用双ccd加液晶监视器来显示,放大倍数30x~189x或67.5x~420x。
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