供光成都光刻机 南光
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- 供应商
- 四川南光泵业有限公司 商铺
- 认证
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 南光
- 所在地
- 成都市锦江区东光小区东怡路16号附9号
- 联系电话
- 13666287112
- 手机号
- 13708029604
- 总经理
- 陈宝融 请说明来自顺企网，优惠更多
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产品详细介绍
| 品牌 | 南光 |
一、适用范围
适用于φ100mm以下，厚度为5mm以下各种基片的光刻。（包括非常规基片、碎片及表面不平整基片）
二、主要技术指标
1、对准精度：±0.5μm。
2、微动台扫描范围±20mm，x、y可调范围±4mm。
3、承片台上下可移动范围为5mm，旋转角度Zui大为90
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