供研磨剂生产技术工艺配方

a67241 研磨剂生产专利全文专辑

（本辑280元，含下列52项）

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01、cmp研磨剂及基板的研磨方法
02、研磨剂制造方法、其制造的研磨剂和硅晶片制造方法
03、混合研磨剂抛光组合物及其使用方法
04、研磨剂及研磨方法
05、用于化学机械抛光的二氧化铈研磨剂
06、半导体平坦化用研磨剂
07、铈盐、其制造方法、氧化铈以及铈系研磨剂
08、研磨剂以及研磨方法
09、氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法
10、化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
11、cmp研磨剂及基板的研磨方法
12、cmp研磨剂以及衬底的研磨方法
13、氧化铈研磨剂以及包含该研磨剂的浆料
14、化学机械研磨用研磨剂及研磨方法
15、半导体装置的研磨剂和用研磨剂的半导体装置的制造方法
16、研磨剂、基片的研磨法和半导体装置的制造方法
17、氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法
18、氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法
19、分散稳定性良好的研磨剂浆体及基板的制造方法
20、化学机械研磨剂组合及其化学机械研磨方法
21、研磨剂、研磨剂的制造方法以及研磨方法
22、一种用稻壳灰制作牙膏或牙粉研磨剂的方法及用途
23、化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
24、核/壳型纳米粒子研磨剂抛光液组合物及其制备方法
25、半导体用研磨剂、该研磨剂的制造方法和研磨方法
26、cmp研磨剂及基板的研磨方法
27、用于钨和钛的化学机械平坦化的研磨剂和组合物
28、半导体集成电路用绝缘膜研磨剂组合物及半导体集成电路的制造方法
29、半导体芯片化学机械研磨剂及其配制方法
30、研磨剂组合物、其制备方法及研磨方法
31、研磨剂、基片的研磨法和半导体装置的制造方法
32、cmp研磨剂以及研磨方法
33、流体喷布式固定研磨剂抛光垫
34、含肽半导体用研磨剂
35、复合研磨剂及制备该复合研磨剂的组合物及方法
36、研磨剂分布系统及应用此分布系统的化学机械研磨设备
37、化学机械抛光用研磨剂
38、用来研磨晶片材料的化学-机械研磨机，以及装在该机器上的研磨剂输送设备
39、研磨剂用组合物及其调制方法
40、牙粉中使用的流体研磨剂悬浮液
41、钢珠研磨剂
42、在液体静电显影剂制备中作为研磨剂的含酸a－b嵌段共聚物
43、金刚石喷雾研磨剂
44、复印机硒鼓(p型)研磨剂和旧硒鼓修复技术
45、聚天冬氨酸盐作为研磨剂的用途
46、氧化铈研磨剂以及基板的研磨方法
47、研磨剂、基片的研磨法和半导体装置的制造方法
48、无机研磨剂废液的再生处理装置
49、回收化学和机械平整化所用水与浆料研磨剂的方法和设备
50、超精研磨剂及其制备工艺
51、化学机械研磨用研磨剂及基板的研磨法
52、晶圆研磨用清洗剂