半导体制造业废气处理蓝绿等离子光解废气净化器

 【行业基本情况】：

半导体产品可大致划分为三大类：分立器件、集成电路与光电组件，其中集成电路就占了半导体近九成的比重，可谓半导体产业的重心所在。2000年以来，中国集成电路产业处于高速成长期。预计2008年-2010年这3年间，中国集成电路产业整体销售收入的年均复合增长率将达到23.6%。到2010年，中国集成电路产业销售收入将达到约2500亿元。预计2010年-2015年，我国将以年均近20%速度向前发展，产业规模达到约6000亿元，届时中国将成为世界重要电路制造基地之一。2007年，我国半导体企业总数达700家左右，其中ic设计业500多家，ic制造业30多家，封装测试业100多家。ic制造业企业已相对集中，主要分布在上海、北京、江苏、浙江等省市，长江三角洲地区成为中国集成电路重镇。

半导体分立器件厂家我国现有约200家。2007年分立器件产品的产量为2487.21亿元，比2006年增长11.8%；销售额835.1亿元，比2006年增长15.9%。到2010年我国半导体分立器件产业销售额将达到1300亿元。

根据2007年污普数据，广州市现有半导体企业16家，集成电路制造企业17家。据了解，目前广州市半导体企业大都为中小型组装部件企业，因此，本通告未将其纳入重点监管范围。

【污染物排放】：

半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用有机溶液（如异丙醇）对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一；同时，在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂（光刻胶）中含有易挥发的有机溶剂，如醋酸丁酯等，在晶片处理过程中也要挥发到大气中，是有机废气产生的又一来源。与半导体制造工艺相比，半导体封装工艺产生的有机废气较为简单，主要为晶粒粘贴、封胶后烘烤过程产生的烘烤废气。

【控制要求】：

半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。目前，有机废气排放处理措施采用大风量低浓度，其处理一般采用吸附浓缩技术、等离子光解技术、或uv光解技术等等。

【半导体制造行业废气处理工艺】：

半导体制造行业废气预处理设备（根据具体项目及废气源实际工况，可能涉及到粉尘去除、水气分离、高温降温处理、油膏油脂去除、酸碱水雾去除等相应的预处理措施）等离子uv光解除臭废气净化器高排。

等离子光解废气分解除臭净化器

【工作原理】

本设备是等离子分解废气净化器+uv光解除臭废气净化器两种设备的完美结合，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和uv紫外光解技术相结合，对废气和臭气进行高效协同净化处理！

（1）废气和恶臭气体进入集成设备后，经过uv紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应，打开废气和臭味污染物分子的化学键，破坏其分子结构和核酸；利用高能紫外光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物。如co2、h2o 等。 uv+o2→o-+o*(活性氧)o+o2→o3(臭氧)。  

（2）废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，产生高浓度、高强度、高能量的各种活性自由基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应。

（3）uv紫外光解与等离子分解如此高效协同地产生一系列光解和分解反应，经过复合式多级净化后从而达标排放！既能安全高效地净化治理各种有害废气，又能高效干净地去除各种恶臭味道。

【产品优势】

1）、净化效率高，运行稳定。

2）、结构紧凑、设计新颖、体积小、重量轻、运输方便。

3）、噪声≤45db（a），设备风阻≤100pa。

4）、运行成本低、能耗低。

5）、紫外光氧化分解＋碳化技术。

6）、安装及操作方便。

7）、清洗及维护方便，使用寿命长。

【适用范围】

（1）适应范围广泛，对vocs有机废气、非甲烷总烃、以及《国家恶臭污染控制标准》中规定的八大恶臭物质（氨、硫化氢、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、三甲胺、苯乙烯）以及苯、甲苯等废气均能有效治理净化，特别适合处理各种恶臭废气、腐臭废气、废水污水恶臭气体等。

（2）对含甲烷、二甲苯、硝基等高浓度易燃易爆挥发性污染物的废气禁止使用（比如燃料废气、硝药废气、炼油化工废气、油漆厂废气、化肥厂废气、汽油酒精废气、沼气废气等等）。

【注意事项】

1、为保证设备的净化效率，风机应设在废气净化器的后面。

2、废气净化器如安装在支架之上时，应与支架紧固连接；与排气管道之间的连接必须密封。

3、废气净化器应安装在室外，有足够的空间用来维护与维修；室外安装时，应加装防雨、遮阳的遮阳篷,以免影响废气净化器的正常使用寿命以及增加不必要的维护费用。

4、为保证废气净化器的净化效率，与设备出入风口连接的变径风管要尽量平顺。

5、废气净化器箱体应安全可靠接地；安装过程中不允许磕碰电极。严禁异物落在净化器内等。