供应SCG高低温真空探针台
更新时间:2017-07-27 15:25:37 信息编号:4867587 发布者IP:183.12.171.227 浏览:97次- 供应商
- 深圳市森美协尔科技有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第9年主体名称:深圳市森美协尔科技有限公司组织机构代码:91440300564234806M
- 报价
- 人民币¥10.00元每台
- 品牌
- semishare
- 型号
- SCG-6
- 关键词
- 探针台,测试
- 所在地
- 深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋3楼
- 联系电话
- 0755-29606952
- 手机号
- 15800137322
- 微信号
- wuxianming2014
- 销售工程师
- 吴先明 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
低温和高温真空探针台
semishare真空环境高低温测试技术
以下两个应用需要真空测试环境。
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,semishare针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
scg-c-4(闭循环)/scg-o-4(开循环)特点:
载物chuck 温度范围:4k-500k
外置4个定位针臂,预留2个
探针x-y-z三方向移动,行程:25.4mm,定位精度:10微米
Zui多可以外置6个定位针臂
载物chuck Zui大可到8英寸
双屏蔽chuck高低温时达到100fa 的测试精度
针臂定位精度可以升级为0.7微米
可以选择射频配件做Zui高67 ghz的射频测试
可以选择防震桌
可以选择超高真空腔体,极限真空到10-10
torr
客户订制
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温控规格:
机械规格
光学部件规格
可选附件
防震桌
方形chuck
分子泵组
射频部件
chuck可外部移动装置
客户定制。
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