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型号:FS  品牌 迪川仪表 
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FS列是采用的美国微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。
该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量，还可用于环保监测仪器，如空气采样
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产品概述: 
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围Zui大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围Zui大到50SLPM；
产品特点: 
   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计 
  - 支持多种连接方式，易于安装与使用 
    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量 
    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高 
    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压 
    - 零点稳定度高 
    - 全量程高稳定性、高度和优良的重复性 
    - 低功耗、低压损 
    - 响应速度快 
产品特点: 


性能参数 FS4003 FS4008 单位 
通 径 3 8 mm 
Zui大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
量程比 100:1  
精 度 ±(1.5+0.2FS) % 
重复性 0.75 % 
零点输出飘移 ±30 mV 
输出飘移 0.12 %/oC 
响应时间 100 ms 
工作电源 8~18Vdc,100mA   
输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc   
Zui大流量压损 100 600 pa 
Zui大工作压力 0.5 MPa 
工作温度 -10 ~ +55 oC 
存储温度 -20 ~ +65 oC 
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）   
机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头  
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa  
重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头) 
英文说明
Unit performance parameters FS4003 FS4008 
3 8 mm diameter 
Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
100:1 turndown ratio 
Accuracy ± (1.5 +0.2 FS)% 
Repeatability 0.75% 
Zero drift ± 30 mV 
Output drift 0.12% / oC 
Response time 100 ms 
Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA 
Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc 
Maximum flow pressure loss 100 600 pa 
Maximum working pressure of 0.5 MPa 
Operating temperature -10 ~ +55 oC 
Storage temperature -20 ~ +65 oC 
Humidity <95% RH (with no icing or condensation) 
Mechanical interface BSPT1 / 4 (R1 / 4), 4mm/6mm/8mm quick connector 
Calibration methods of air (or other gases), 20oC, 101.325kPa 
Weight of 57 (with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface) 
71 (with 4mm, 8mm fast interface, 68 (with 6mm quick connector)