TG多弧离子镀膜设备 HZ

型号type

项目item

tg－600

tg－700

tg－800

tg－1000

tg－1200

工作室尺寸

φ600×900

φ700×900

φ800×1000

φ1000×1500

φ1200×1500

Zui大装工件尺寸(mm)

φ110×700×8轴

φ145×700×8轴

φ110×700×8轴

φ240×1100×6轴

φ280×1100×6轴

工件架转速(rpm)

1～3

1～3

1～3

1～3

1～3

烘烤温度(℃)

室温到350℃可调

室温到350℃可调

室温到350℃可调

室温到350℃可调

室温到350℃可调

加热功率(kw)

4

6

12

20

24

配置电弧源(个)

d100/4个

d100/4个

d100/6个

d100/8个

d100/12个

配置磁控溅射靶

750/5kw

750/5kw

100/10kw

115/40kw

115/40kw

极限压力(pa)

1.5×10－3

1.5×10－3

1.5×10－3

1.5×10－3

1.5×10－3

恢复真空抽气时间(空载从大气抽至5*10-3pa)(min)

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

真空机组配备

kt－400

2x－70

2x－4

kt－500

2x－70

2x－15

kt－600

2x－70

2x－15

kt－800

zj－600

h－150

2x－30

kt－800

zj－600

h－150

2x－30

名义总功率(kw)

28

33

51

118

130