中频磁控溅射电源 HZ 中频磁控溅射电源
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- 衡阳市真空机电设备有限公司 商铺
- 认证
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- 品牌
- HZ
- 类型
- 中频磁控溅射电源
- 型号
- HZ-ZPDY
- 所在地
- 湖南省衡阳市高新开发区杨柳路36号
- 联系电话
- 0734-8858552
- 手机号
- 15200539850
- 副总经理
- 王军 请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍
品牌 | HZ | 类型 | 中频磁控溅射电源 |
型号 | HZ-ZPDY | 输入电压 | 380(V) |
输出功率 | 10K~40K(W) | 产品认证 | ISO9001 |
中频磁控溅射电源
用途:
可适用于pvd、cvd技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。
特点:
1.采用先进的逆变技术和igbt功率开关器件
2.采用pwm控制技术、恒流特性好、电源控制
3.自动恒流输出,不随气压变化,提高沉积速率,工艺重复性好
4.克服靶中毒,抑制靶材弧光放电及抗短路功能,内置电子电抗,具有的负载匹配能力
5.led数码电流、电压显示、清晰直观
6.轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上
7.模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好,可n+1备份、保障安全生产
8.可根据用户量身定做设计制造特种电源系统
主要技术项目:
型号type 项目item |
mf—10kw |
mf—20kw |
mf—30kw |
mf—40kw |
输入电源电压频率(v、hz)三相四线 |
ac380+n +15%,50/60 |
ac380+n +15%,50/60 |
ac380+n +15%,50/60 |
ac380+n +15%,50/60 |
输出电流调节范围(a) |
0~15 |
0~30 |
0~45 |
0~60 |
稳流精度 |
≤1% |
≤1% |
≤1% |
≤1% |
额定输出电压(acv) |
200~1000 |
200~1000 |
200~1000 |
200~1000 |
负载持续率(%) |
85 |
85 |
85 |
85 |
重量(kg) |
25 |
35 |
40 |
70 |
外形尺寸(mm) |
650(d)×480(w)×250(h) |
860(d)×600(w)×600(h) |
||
绝缘等级 |
b |
b |
b |
b |
效率(%) |
90 |
90 |
90 |
90 |
功率因数cosφ |
0.93 |
0.93 |
0.93 |
0.93 |
外壳防护等级 |
ip21 |
ip21 |
ip21 |
ip21 |
工作模式 |
恒压、恒流、恒功率可任意选择,常规恒流输出 |
|||
外部接口 |
本系列产品,均可设微机式plc控制 |
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