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直流磁控溅射电源 HZ 直流开关电源

信息编号:385513 浏览:144次
供应商
衡阳市真空机电设备有限公司 商铺
认证
报价
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品牌
HZ
类型
直流开关电源
型号
HZ-ZLDY
所在地
湖南省衡阳市高新开发区杨柳路36号
联系电话
0734-8858552
手机号
15200539850
副总经理
王军  请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍

品牌 HZ 类型 直流开关电源
型号 HZ-ZLDY 输入电压 380(V)
输出功率 10K~40K(W) 产品认证 ISO9001

直流磁控溅射电源

用途:

可适用于pvd、cvd技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。

特点:

1.采用先进的逆变技术和igbt功率开关器件设计

2.采用pwm控制技术、恒流特性好、电源控制

3.自动恒流输出,不随气压变化,提高沉积速率,工艺重复性好

4.抑制靶材弧光放电及抗短路功能,内置电子电抗,具有的负载匹配能力

5.led数码电流、电压显示、清晰直观

6.轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上

7.模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好,可n+1备份、保障安全生产

8.可根据用户量身定做设计制造特种电源系统

主要技术项目:

型号type

项目item

dc—10kw

dc—20kw

dc—30kw

dc—40kw

输入电源电压频率(v、hz)三相四线

ac380+n

+15%,50/60

ac380+n

+15%,50/60

ac380+n

+15%,50/60

ac380+n

+15%,50/60

输出电流调节范围(a)

 0~15

0~30

0~45

0~60

稳流精度

≤1%

≤1%

≤1%

≤1%

额定输出电压(dcv)

200~1000

200~1000

200~1000

200~1000

负载持续率(%)

85

85

85

85

重量(kg)

25

35

40

70

外形尺寸(mm)

650(d)×480(w)×250(h)

860(d)×600(w)×600(h)

绝缘等级

b

b

b

b

效率(%)

90

90

90

90

功率因数cosφ

0.93

0.93

0.93

0.93

外壳防护等级

ip21

ip21

ip21

ip21

工作模式

恒压、恒流、恒功率可任意选择,常规恒流输出

外部接口

本系列产品,均可设微机式plc控制

所属分类:中国仪表网 / 真空测量仪器
本页链接:http://product.11467.com/info/385513.htm
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