三氯氢硅中痕量磷检测仪
更新时间:2014-12-15 12:52:34 信息编号:3183674 发布者IP:122.7.126.145 浏览:63次- 供应商
- 滕州赛谱分析仪器有限公司 商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第12年主体名称:滕州赛谱分析仪器有限公司
- 报价
- 人民币¥42000.00元每套
- 品牌
- 赛谱
- 型号
- SP7890
- 所在地
- 山东省枣庄滕州市文昌路南段517号
- 联系电话
- 0632-5831177
- 手机号
- 15588237852
- 联系人
- 郑丽 请说明来自顺企网,优惠更多
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产品详细介绍
(测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器)
一、 前言
半导体硅材料中磷含量的高低,直接影响器件的电性能。随着硅材料研究及生产的不断提高,对于原材料三氯氢硅中磷的测试灵敏度、速度、准确度提出更高要求。
三氯氢硅中杂质磷的分析,传统的方法为将杂质磷转变成磷钼杂多酸,再还原成磷钼蓝进行比色测定。在此基础上后来有改进,诸如经苯肟酮或硫氰化铵比色测定钼,或利用化学光谱法测出钼量进而间接换算出磷含量;加大取样量等。虽然在灵敏度上有一定提高,但都要经过使磷形成磷钼杂多酸这一过程。为要形成稳定的络合物来分离基本和消除杂质干扰,化学分离手续相当繁杂,分析时间长,而且,测定灵敏度也不能满足生产上的要求。
滕州赛谱分析仪器有限公司www.gc2010.net
为了提高三氯氢硅中杂质磷分析灵敏度和速度,国内外相关科研人员做了大量工作。例如,有专家采用气相色谱法测定了三氯氢硅中以pcl3与pocl3形式存在的磷含量。然而,三氯氢硅中杂质磷还可能以其他形式存在(例如,pcl5、pscl3),因此,欲采用气相色谱法测定总磷含量,首先要保证样品中以各种形式存在的磷都能从分离柱中流出,这无疑是一项很艰巨的工作,至今尚未见到报道。又例如,有专家采用“icp—ms”法测定三氯氢硅中痕量杂质磷,测试方法虽然简捷,遗憾的是,测定灵敏度下限仅为0.3ppb,不能满足多晶硅生产工艺对三氯氢硅中杂质磷的分析要求(工艺要求三氯氢硅中杂质磷含量应小于0.1ppb)。
二、 滕州赛谱分析仪器有限公司www.gc2010.net
测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器“高温氢还原—火焰光度气相色谱仪”。
针对上述现状,滕州中科谱专家级工程师经过多年在硅行业的丰富经验,与大量的切合实战分析,研制出测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器“高温氢还原—火焰光度气相色谱仪”。进几年已在国内硅行业多个生产厂家得到应用,反应极好,与价格昂贵的“icp-ms”法比较有廉价实用,快速测定,痕量(≤0.06ppb)分析,耗材低等特性。对于快速反应指导三氯氢硅生产工艺,更加提纯硅产品,为社会提供更优质完美的单晶硅产品,是我司特别推出此套分析仪器的宗旨,也是您可信赖的合作伙伴。
gc-2010火焰光度分析仪总磷测定
三氯氢硅———————————→多晶硅————→优质单晶硅产品
三、
仪器的特点和指标
1、 所测三氯氢硅中杂质磷含量为总磷含量;
2、 三氯氢硅中杂质磷含量测定下限为0.06ppb;
3、 测定手续简便只需用注射针筒向仪器注入三氯氢硅即可;
4、 测定周期短,自注入三氯氢硅到测出磷化氢峰高(或面积)需时20分钟;
5、 仪器结构简洁、直观,便于使用和维修。
仪器选购及售后服务
在你购买仪器前协助你全面了解仪器的性能、特点,仪器选型的全面咨询服务。在您购买仪器后,我们可派专业技术人员前往您的单位进行仪器的首次安装、启动、调试。定期举办培训班,长期供应仪器的易损、易耗件。依国家行业标准,仪器实行三包,保质期十二个月,终身维修,自接到用户询问电话后,24小时内答复,若需到现场,48小时内到位,做好售后服务。
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