白光干涉仪 白光干涉仪
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- 供应商
- 东莞市长安傅国五金仪器经营部 商铺
- 认证
- 报价
- 请来电询价
- 类型
- 白光干涉仪
- 品牌
- Rational/万濠
- 所在地
- 中国 广东 东莞市 东莞长安镇厦边江边十巷4号
- 经理
- 闵远德 请说明来自顺企网，优惠更多
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产品详细介绍
| ae-100m | |||||
| 产品用途 | |||||
| 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、ic封装、材料分析与微表面研究等。 | |||||
| 产品特点 | |||||
| ● 奈米深度3d检测 ● 高速/无接触量 ● 表面形状/粗糙度分析 ● 非透明/透明材质皆适用 ● 非电子束/非雷射的安全量测 ● 低维护成本 |
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| 专业级的3d图形处理与分析软体（post topo） | |||||
| ●
提供多功能又具亲和接口的3d图形处理与分析 ● 提供自动表面平整化处理功能 ● 提供高阶标准片的软件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 ● 线型分析方式提供直接追溯iso定义的表面粗糙度（rorghness）与起伏度 ● （waviness）的测量分析。可提供多达17种的iso量测参数与4种额外量测数据（wafer） ● 区域分析方式提供图形分析与统计分析 ● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（fft）处理功能 ● 量测分析结果以bmp等多种图形档案格式输出或是excel文本文件格式输出 |
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| 高速精密的干涉解析软件(imgscan) | |||||
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● 系统硬件搭配imgscan前处理软件自动解析白光干涉条纹 ● 垂直高度可达0.1nm ● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果 ● 垂直扫描范围的设定轻松又容易 ● 有10x、20x、50x倍率的物镜可供选择 ● 平台xyz位置数显示，使检标的寻找快速又便利 ● 具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比 ● 具有高精度的pvsi与高速vsi扫描测量模式供选择 ● 具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3d形貌 ● 具有自动布补点功能 ● 可自行设定扫描方向 |
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| 技术规格参数 | |||||
| 型号 | ae-100m | ||||
| 移动台(mm) | 平台尺寸100*100 ，行程13*13 | ||||
| 物镜放大倍率 | 10x | 20x | 50x | ||
| 观察与量测范围 | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 | ||
| 光学分辨力(um) | 0.9 | 0.69 | 0.5 | ||
| 收光角度(degrees) | 17 | 23 | 33 | ||
| 工作距离 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | ||
| 传感器分辨率 | 640*480像素 | ||||
| 机台重量(kg)/载重kg | 20kg/小于1kg | ||||
| z轴移动范围 | 45mm , 手动细调 | ||||
| z轴位置数字显示器 | 分辨率1um | ||||
| 倾斜调整平台 | 双轴/手动调整 | ||||
| 高度测量 | |||||
| 测量范围 | 100（um)(400um ,选配) | ||||
| 量测分辨力 | 0.1mm | ||||
| 重复精度 | ≤ 0.1％ (量测高度:>10um) ≤10um(量测高度1um 10um) ≤ 5nm(量测高度:<1um ) |
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| 量测控制 | 自动 | ||||
| 扫描速度(um/s) | 12(Zui高) | ||||
| 光源 | |||||
| 光源类型 | 仪器用卤素（冷）光源 | ||||
| 平均使用寿命 | 1000小时100w 500小时（150w） | ||||
| 光强度调整 | 自动/手动 | ||||
| 数据处理与显示用计算机 | |||||
| 中央处理运算屏幕 | 双核心以上cup | ||||
| 影像与数据显示屏幕 | 17 " 双晶屏幕 | ||||
| 操作系统 | windows xp(2) | ||||
| 电源与环境要求 | ac100 --240 v 50-60hz | ||||
| 环境震动 | vc-c等级以上 | ||||
| 测量分析软件 | |||||
| 量测软件imgscan | 具vsi/ pvs/psi 量测模式（psi量测模式需另选配psi模块搭配） | ||||
| 分析软件postopo |
iso 粗燥度/阶高分析，快速传利叶转换和滤波，多样的2d和3d |
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本产品的加工定制是否，类型是白光干涉仪，品牌是Rational/万濠，型号是AE-100M，品种是其他干涉仪，测量范围是0.43*0.320.21*0.160.088*0.066，测量分辨率是0.1MM，Zui近工作距离是3.4-7.4（mm），用途是适合各种材料与微元件表面特征和微尺寸检测，重复精度是（≤0.1%量测高度大于10μm）（≤10nm量测高度1μm-10μm）（≤5nm量测高度小于1，光强度调整是手动/自动，传感器分辨率是640*480像素
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