x射线光电子能谱/电子光谱化学分析仪(xps/esca)

    x射线光电子能谱(xps),也称为电子光谱化学分析仪(esca) ，用来测量定量原子组成和化学成分。 它是取样范围从表面到深度大约 50-70å的分析技术。 或者, xps也可用通过量化材料本体级分子进行特征化薄膜溅射深度剖面。 xps是一种元素分析技术,提供独特的被检测元素的化学状态信息，如，测量硫元素中硫酸盐和硫化物的形式。这个过程是用单色x射线照射样品而产生散射光电子, 这些光电子释放的能量是取样范围内元素的特征。
    利用这项技术在不同领域的多种应用中帮助客户研发以及发展工艺:
• 测量表面成分及化学状态信息
• 描述清洁过程 
• 分析粉末和碎片的主成分 
• 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析，识别污染源 
• 识别和量化表面变化前后聚合物的功能性检测 
• 测量硬盘上的润滑剂厚度 
• 为材料本体水平元素获取薄膜(导电的和非导电的)深度剖面
• 薄膜氧化物厚度测量（sio2, al2o3 等.）或估算两个样品氧化层厚度的不同
• 检测极限通常在~ 0.01 %，Zui小的分析面积是~10 µm
xps/esca分析优点：
 表面化学状态识别 
 除h和he外，所有元素的识别 
 定量分析，包括样品间化学状态的不同 
 适用于多种材料，包括绝缘样品（纸，塑料、玻璃） 
 材料本体水平浓度的深度 
 氧化物厚度测量
    这些对产品化学成份的见解可以使您的产品、工艺更快地改进，减少周转时间并节省成本。

xps/esca工作原理

应用图谱：

xps分析图谱

xps深度剖面分析图谱