AALBORG气体质量流量计

 aalborg气体质量流量计

得米特（天津）科技有限公司供应美国aalborg, aalborg气体质量流量计, aalborg控制器

美国aalborg instruments & controls, inc成立于1972年，是世界上的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。

产品特点：、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用：cvd、pvd、刻蚀、等离子注入、溅射、ito、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。

设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－Zui大压力500psig（34.5bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－nist系统标定可追踪的证明
－可倾斜的lcd读表
－0-5vdc或4-20ma信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机

精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。
重复性：±0.5％满量程
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒
温度系数：0.15％满量程／℃
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
输出信号：0-5vdc，Zui小1000ω。4-20ma、0-250ω回路电阻
传感器输出：＋12vdc；Zui大200ω。＋24vdc可选
时间恒量：800ms

气体压力：Zui大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）
流体接触面材质：a：gfc铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
b：gfc17s，37s，47s，57s，67s，77s不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
连接：gfc17和37：1／4"卡套螺纹vcr®或1／8"卡套可选（gfc17）
gfc47：3／8"卡套螺纹
gfc57：3／8"卡套螺纹
gfc67：1／2"卡套螺纹
gfc77：3／4"卡套螺纹
vcr®或3／4"卡套可选（gfc77）

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