电子级反式-1,2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC(DCE)
名称
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC
化学式
C2H2Cl2
相对分子量
96.94
CAS号
156-60-5
理化性质
无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.265g/ml。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
主要用途:
高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)、光伏制造业所需的电子化学品。