圆筒形靶材 氧化锌铝 武汉
信息编号:1273472 浏览:74次产品详细介绍
材质 | 氧化锌铝 | 产地 | 武汉 |
规格 | 见详细说明 |
azo圆筒靶材
主要技术指标:
*化学成分:98wt.% zno, 2wt.%al2o3或按用户需要提供;
*纯度:3n或4n;
*相对密度:≥99%;
*靶材电阻率:5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值);
*膜电阻率:采用射频磁控溅射,基片加热温度220℃,在工艺条件下:2.17×10—4ω·cm;基片加热温度450℃,在工艺条件下:9.06×10—5ω·cm
*尺寸:内径100-150mm,外径140-180mm,高150-250mm;
gzo圆筒靶材
主要技术指标:
*化学成分:95wt.% zno, 5wt.%ga2o3或按用户需要提供;
*纯度:3n或4n
*相对密度:≥99.5%或≥98%
*靶材电阻率:3.5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)。
*尺寸:内径100-150mm,外经150-200mm,高150-250mm。
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