微机械加速度计MS9000.D

参数

单位

ms9002d.

ms9010d.

ms9030d.

ms9050d.

ms9010d.

ms9250d.

全部测量范围

g

±2g

±10g

±30g

±50g

±100g

±250g

封装

lcc20 ( , 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch)

零位校准

mg

<10

<50

<150

< 250

<500

<1250

零位稳定性(﹥48h)

mg typ.

<0.05

<0.25

<0.75

< 1.25

<2.25

<6.25

开/关重复性

mg max.

<0.15

<0.75

<1.5

< 3.8

<7.5

<18.8

零位温度系数

mg/℃typ.

<0.1±

<0.5

<1.5

<2.5

<5

<12.5

mg/℃max.

0.4

±2

±6

±10

±20

±50

比例因子(k1)

mv/g

1000±8

200±2

66.6±1

40±1

20±1

8±1

比例因子温度系数

ppm /℃typ.

100

100

100

100

100

100

min./ max.

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

-50/250

输入轴偏心度（kp，ko）

mrad max.

<10

<10

<10

<10

<10

<10

% max

1

1

1

1

1

1

分辨率/阈值（@ 1hz）

mg max.

< 0.1

< 0.6

< 1.7

< 2.8

< 5.5

< 12.5

非线性度

% of fs max.

< 0.8

< 0.9

< 0.9

< 0.9

< 1

< 1

g max.

< 0.02

< 0.09

< 0.27

< 0.50

< 1

< 2.5

带宽

hz

0～≥100

0～≥100

0～≥100

0～≥100

0～≥100

0～≥100

噪声谱密度[0;9khz]

μv/√hz typ.

18

18

18

18

18

18

max.

24

24

24

24

24

24

谐振频率

khz

1.4

3.7

6.3

11

15

26

供电电压

vdc

2.5～5.5vdc,标准的校准电压为5.0vdc

重量

g

<1.5

尺寸

mm

标准值14.2x14.2x3.3mm，Zui大值14.48x14.48x3.79mm