八氟环丁烷 C4F8

产品名称 八氟环丁烷 C4F8
公司名称 奥博瑞(天津)科技有限公司
价格 .00/个
规格参数
公司地址 天津市北辰区双街镇汉沟村东智谷园
联系电话 18310521067

产品详情

八氟环丁烷是一种不易燃,无色,无臭无味的气体。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。



规格

纯度 , %99.999.999
氧气≤80 ppmv≤1.0 ppmv
氮气≤300 ppmv≤3.0 ppmv
二氧化碳≤50ppmv≤0.5ppmv
一氧化碳≤30 ppmv≤0.5 ppmv
甲烷≤30 ppmv≤0.5 ppmv
水分≤10 ppmv≤3.0 ppmv
其他有机物≤600 ppmv≤5.0 ppmv
酸度 as HCL≤1.0 ppmw≤0.1 ppmw



运输

DOT 运输名称八氟环丁烷
DOT 分类2.2
DOT 标签不可燃气体
UN NO.UN 1976
CAS No.115-25-3
CGA/DISS/JIS660/716/W22-14L
运输状态液化性气体



技术信息

钢瓶状况 @ 21.1°C液体
在空气中的燃烧极限不可燃
自然温度 (°C )-
分子量 (g/mol)200.03
比重 ( 空气 =1)7.33
临界温度 ( °C )115.2
临界温度 ( psig )




应用

在半导体制程中, 八氟环丁烷被用作二氧化硅和硅层的等离子蚀刻气体。