产品名称 | 八氟环丁烷 C4F8 |
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公司名称 | 奥博瑞(天津)科技有限公司 |
价格 | .00/个 |
规格参数 | |
公司地址 | 天津市北辰区双街镇汉沟村东智谷园 |
联系电话 | 18310521067 |
八氟环丁烷是一种不易燃,无色,无臭无味的气体。在其自身蒸汽压力下被作为液化性气体运输。 | ||
规格 | ||
纯度 , % | 99.9 | 99.999 |
氧气 | ≤80 ppmv | ≤1.0 ppmv |
氮气 | ≤300 ppmv | ≤3.0 ppmv |
二氧化碳 | ≤50ppmv | ≤0.5ppmv |
一氧化碳 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
甲烷 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
水分 | ≤10 ppmv | ≤3.0 ppmv |
其他有机物 | ≤600 ppmv | ≤5.0 ppmv |
酸度 as HCL | ≤1.0 ppmw | ≤0.1 ppmw |
运输 | ||
DOT 运输名称 | 八氟环丁烷 | |
DOT 分类 | 2.2 | |
DOT 标签 | 不可燃气体 | |
UN NO. | UN 1976 | |
CAS No. | 115-25-3 | |
CGA/DISS/JIS | 660/716/W22-14L | |
运输状态 | 液化性气体 | |
技术信息 | ||
钢瓶状况 @ 21.1°C | 液体 | |
在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
自然温度 (°C ) | - | |
分子量 (g/mol) | 200.03 | |
比重 ( 空气 =1) | 7.33 | |
临界温度 ( °C ) | 115.2 | |
临界温度 ( psig ) | ||
应用 | ||
在半导体制程中, 八氟环丁烷被用作二氧化硅和硅层的等离子蚀刻气体。 |