日本三丰超高精度三坐标测量机（0.28μm）

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三丰超高精度三坐标测量机

LEGEX574/774/776/9106

达到世界No.1*的超高精度 E0,MPE=0.28+L/1000

主体基座设计

高刚性，高衰减性 LEGEX的主体基座采用球状石墨铸铁(球墨铸铁)*的密闭式结 构(正在申请专利)，这个结构实现了高刚性、高振动衰减性。 并且，运用FEM构造模拟分析系统进行了彻底的应力分析， 使正常机器操作产生的变形尽量减小，保证良好的几何学精 度。

Y轴导轨和基座的一体化结构 

为进一步提高刚性和热稳定性，开发了Y轴导轨与主体基座一 体化结构。 各轴滑动部分使用了陶瓷–等离子喷涂技术 (正在申请专利) Y轴导轨，X轴横梁，Z轴主轴滑动部分进行陶瓷–等离子喷涂 处理，形成空气轴承滑动***适合的表面。 具有出色的耐锈蚀性和抗腐蚀性。

固定桥式工作台移动结构

消除俯仰和偏航误差 桥式移动结构的CNC三坐标测量机多是由单侧下部配置的驱 动系统进行桥结构的移动(Y轴移动)，所以移动时会产生俯仰 误差和偏航误差。也有把驱动系统配置在桥结构中央重心附 近的方式，因为X轴左右移动时重心也随之移动，也不能排除 这些误差。 LEGEX，通过“如果桥式结构移动产生误差，让桥结构不移 动就好了”的逆向构思，极力控制阿贝误差采用了桥固定工 作台移动结构。

X轴移动和Y轴移动的独立 

桥式移动结构的情况，比如X轴的移动会引起Y轴导轨(气浮轴 承)载荷发生变动，测量空间的几何学结构发生变形。 LEGEX的X轴和Y轴是完全独立的构造，X轴的移动对Y轴导轨 没有任何影响。因此能够容易提高各轴的精度追求，维持长 期的高精度水准。

完全重心驱动 

各轴的驱动系统配置在各移动部的重心处，驱动轴旋转的惯 性力矩被抑制，加减速的时候几乎没有构造体的变形。 例如对X轴导引的X轴横梁完全采用三丰独自开发的高刚性气 浮轴承的原创结构，可以进行高速、高加减速驱动。

规格