| 产品名称 | MAX-PLUS晶圆探针卡检测及调整系统 |
|---|---|
| 公司名称 | 东莞市亦江仪器有限公司 |
| 价格 | 1.00/个 |
| 规格参数 | |
| 公司地址 | 东莞市虎门镇小捷窖社区捷东南路9号A座6F-4 |
| 联系电话 | 0189-25773839 18925773839 |
高精密花岗岩基板
铝合金工作台面，阳极硬膜处理
Z 轴 C 型架构设计，可降低阿贝误差
三轴采用日本三菱伺服马达控制+四轴运动控制卡
SENTECH 高解析彩色 ” CCD
NAVITAR 同轴光镜头，放大倍率17.5X~112.5X
X, Y 轴移动行程 600 mm x 200 mm
X, Y 轴工作台面 505 mm x 355 mm
LED 轮廓光源、24区多区段可调式环型表光及同轴光
精密光学尺，分辨率 0.5 μm
线性精度 X、Y 轴 (2+L/200) μm
重复精度 0.002 mm
搭配 SI-901I 专业影像量测软件(PI系列专属软件)
(b) 手动调针单元
双目镜筒 10X 目镜
手动变倍 6:1
变倍比范围 6.3x - 40x
分辨率 225 lp/mm
工作距离 89.6 mm (消色差 1x 物镜)
视野 Φ 5.75 mm – 36.5 mm
64 颗 8 段控制 LED 环型光源
产品特色
(a) 全自动光学量测，不用再目视臆测
发挥100%光学程序化量测优势，晶圆探针卡的OK/NG全盘清楚
(b) 单机整合双功能设计
晶圆探针卡调整部分可以自动定位，针卡偏移方向清楚，方便调整正确方向