得锯轴装金刚石切割线的长度米

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金刚石切割线 

基于以上金刚石线切割硅片的种种优势，金刚石线切片制绒工艺的研究很有必要。本文通过在目前单晶硅片清洗制绒工艺的基础上从工艺流程和药液成分上尝试调整，研究适合单晶金刚石线切片的制绒工艺。

目前最广泛用于生产的单晶硅制绒工艺体系为碱液腐蚀晶硅面，具体为质量浓度约1.3%NaOH溶液，有效降低溶液表面张力增加硅片浸润性并帮助反应产物氢气泡脱附的IPA，用于优化金字塔大小和成核密度的表面活性剂，水浴温度75℃~82℃，反应时间1000s~1500s简称单晶常规碱制绒体系。对于金刚石线单晶切片制绒尝试在此工艺基础上提高腐蚀液NaOH的浓度至1.7%~2.3%，同步降低添加剂用量约15%。电镀钻石线 大理石切割钻石线

以上制绒工艺后仍不能有效去除金刚石线切片的线痕，然而这种线痕很容易引发丝网印刷不良。故尝试在腐蚀制绒前采用碱抛的方式优先去除线痕，然后采用以上提到的单晶常规碱制绒体系进一步进行金字塔生长。