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 氧最早被称为生命之气（拉丁语：vital air），拉瓦锡根据其实验结果，在1777年，将其命名为法语：oxygène。这个单字是由希腊语：ὀξύς（oxys，字面意思是尖锐的，因为酸性物质尝起来的味道很尖锐，被引伸为酸），以及-γενής（-genēs，起源于，产生于）组成，因为在当时他误认所有酸性物质都含有氧。这个单字随后进入英文，被拼为英语：oxygen。

在中华民国时期，这个单字曾被译为酸素。随后出现以形声造字，造出新字氱，因其字形复杂，又造出新字，氧。

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