X轴（上）和Y轴（下）均采用我司研制的高端直线电机，位置反馈采用光栅编码器；导向装置为精密直线导轨；底座与横梁均采用高精度花岗石。平台具有三高一低的显著特点。直线电机的高加速度、高速度、高精度的优势在本平台上得以体现；同时电机线圈与磁轨为无接触运行，无磨损、无反向间隙，所以其维护要求极低。它被广泛应用于高精密测试、图像检测、激光切割/雕刻/打标等设备。

电机线圈与磁轨为无接触运行：

 无磨损、无反向间隙、维护要求极低

“无铁芯”，所以对磁体没有吸引力：

 组装和操作更方便/更安全，行进更平稳(没有齿槽效应) 使用特种导热树脂配合线圈绕组：

 散热性能更好

嵌入式过温保护器或热敏电阻指示：

 有效避免线圈绕组温度过高

超高柔性的马达电缆：

 电缆的使用寿命更长，可以承受上千万个运作周期

 

应用领域：

 

半导体生产设备（如晶圆检测与探测、半导体固晶机、半导体金线焊线机、集成块检测与探

                测、高速取放与传送设备等）               

电子生产设备（如PCB板生产设备等）

激光切割、激光雕刻、激光打标

太阳能板制造

LCD/TFT生产与检测平台

硬盘生产

光器件生产设备

高端医疗器械

精密数控机床

大幅面打印、扫描和数字制作

自动化装配设备

3D打印设备